积分商城

最新搜索： 编程手册 电机设计 USCAR-45 IEC103 qzw1902 数字电源
您现在的位置是：首页 > 技术资料 > 体声波力传感器灵敏度的微分-综合分析法
推荐星级：
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

体声波力传感器灵敏度的微分-综合分析法

更新时间：2020-07-12 06:06:27 大小：5M 上传用户：守着阳光1985查看TA发布的资源 标签：声波传感器 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

为了分析基于应力/应变效应的体声波（BAW）力传感器的敏感机理、准确计算其灵敏度,提出了一种用于BAW力传感器灵敏度分析的微分-综合分析法。该方法借鉴了微积分的原理,在Mason等效电路模型中将一个完整的BAW谐振器替换为多个谐振器微元的并联,从而将谐振器有源区面积A上应力/应变场的有限元计算结果与压电薄膜材料的力学特性、谐振器微元的电声学特性关联起来;最后,在射频电路仿真软件中进行等效电路的综合,得到整个BAW谐振器在应力/应变场作用下的阻抗特性曲线及其串/并联谐振频率。当BAW谐振器微元的划分足够细密时,获得的灵敏度分析结果将足够精确。为了论证该方法的原理,给出了一个直观的校核案例。以一个嵌入式FBAR结构的四梁BAW加速度计表头为例,介绍了该方法用于BAW力传感器灵敏度分析的详细过程。虽然案例中只讨论了一种应力/应变型BAW力传感器的单一力敏机理,但该方法具有普适性。并且,当谐振器微元小到接近其压电材料晶格的尺度时,就能与压电薄膜的力-声-电特性的第一性原理计算结果关联起来,实现从微观材料特性到介观器件物理的多尺度计算。

In order to analyze sensing mechanisms of bulk acoustic wave（BAW） force sensors based on the stress/strain effects and calculate their sensitivity accurately, a calculus like analysis method is proposed. Drawing on the principles of calcu lus, the method replaces a full BAW resonator with numerous parallel resonator infinitesimals in the Mason equivalent circuit model. Thus, the finite element method（FEM） simulated stress/strain field across the BAW resonator＇s active area c...

部分文件列表

文件名 大小
体声波力传感器灵敏度的微分-综合分析法.pdf 5M

【关注公众号领20积分】

相关下载

全部评论(0)

暂无评论
评论赚积分>>

上传资源 上传优质资源有赏金

热门标签

更多>>

最新上传

  • 打赏
  • 30日榜单

  • 21下载积分 打赏20.00元   1天前

    用户：white工

  • Lzhf918@ 打赏10.00元   3天前

    资料：海尔LS55H310G液晶电源板电路图

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户：mulanhk

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户：lanmukk

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户：zhengdai

  • 21ic下载 打赏240.00元   3天前

    用户：江岚

  • 21ic下载 打赏240.00元   3天前

    用户：潇潇江南

  • 21ic下载 打赏210.00元   3天前

    用户：gsy幸运

  • 21ic下载 打赏70.00元   3天前

    用户：小猫做电路

  • 21ic下载 打赏120.00元   3天前

    用户：jh0355

  • 21ic下载 打赏110.00元   3天前

    用户：jh03551

  • 21ic下载 打赏70.00元   3天前

    用户：liqiang9090

  • 21ic下载 打赏45.00元   3天前

    用户：有理想666

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户：w178191520

  • 21ic下载 打赏40.00元   3天前

    用户：烟雨

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户：eaglexiong

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户：sun2152

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户：xuzhen1

  • 21ic下载 打赏15.00元   3天前

    用户：kk1957135547

  • 21ic下载 打赏15.00元   3天前

    用户：w993263495

  • 21ic下载 打赏15.00元   3天前

    用户：x15580286248

热门下载

资料专题

推荐下载

本站上的所有资源均为源于网上收集或者由用户自行上传，仅供学习和研究使用，无任何商业目的，版权归原作如有侵权，请 来信指出，本站将立即改正。

ICP许可证号：京ICP证070360号     21IC电子网 2000- 版权所有

京ICP备11013301号

京公网安备 11010802024343号