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半导体制程培训CMP和蚀刻.pptx.ppt
资料介绍
刻蚀（Etch），它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化（pattern）处理的一种主要工艺。
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资料：bitboy
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