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半导体工艺.ppt
大小：943K 更新时间：2021-10-09 下载积分：3分
前段（Front End）制程 晶圆处理制程（Wafer Fabrication；简称 Wafer Fab）、 晶圆针测制程（Wafer Probe）；後段（Back End） 构装（Packaging）、测试制程（Initial Test and Final Test）
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300mm硅单晶及抛光片标准.pdf
大小：3M 更新时间：2021-10-09 下载积分：2分
300mm硅抛光片的产品、工艺技术在国外已经很成熟。而在我国起步较晚，还处于试验阶段。因此对于集成电路所需的300mm硅片的基本参数指标、金属污染和缺陷控制、表面形态与质量、成本等都面临着新的挑战。硅材料的生产...
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直拉单晶炉设备简介 结构.pptx
大小：3M 更新时间：2021-10-09 下载积分：2分
直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。炉体为一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场。籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉内，两轴具有...
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硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉.ppt
大小：3M 更新时间：2021-10-09 下载积分：3分
目前在所有安装的太阳电池中，超过90%以上的是晶体硅太阳电池，因此位于产业链前端的硅锭/片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用。太阳电池硅锭主要有单晶硅锭和多晶硅锭，这两种硅锭。单晶硅做成的电池效率高...
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单晶炉机械结构.ppt
大小：10M 更新时间：2021-10-09 下载积分：3分
设 备 简 介直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。 将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温熔化（大于1450℃），在低真空度和氩气保护下，通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷态并进...
