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直拉单晶炉设备简介 结构.pptx
大小:3M 更新时间:2021-10-09 下载积分:2分
直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。炉子分两部分组成:机械部分和电控系统。炉体为一带水套的不锈钢炉室,其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场。籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉内,两轴具有...
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硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉.ppt
大小:3M 更新时间:2021-10-09 下载积分:3分
目前在所有安装的太阳电池中,超过90%以上的是晶体硅太阳电池,因此位于产业链前端的硅锭/片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用。太阳电池硅锭主要有单晶硅锭和多晶硅锭,这两种硅锭。单晶硅做成的电池效率高...
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单晶炉机械结构.ppt
大小:10M 更新时间:2021-10-09 下载积分:3分
设 备 简 介直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。 将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温熔化(大于1450℃),在低真空度和氩气保护下,通过籽晶插入多晶硅熔体后,在籽晶周围形成过冷态并进...
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半导体制造工艺流程.ppt
大小:941K 更新时间:2021-10-09 下载积分:2分
半导体制造工艺流程本征材料:纯硅 9-10个9 250000Ω.cmN型硅: 掺入V族元素--磷P、砷As、锑SbP型硅: 掺入 III族元素—镓Ga、硼B
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半导体制造工艺晶体的生长.ppt
大小:8M 更新时间:2021-10-06 下载积分:2分
导电类型:N型与P型都易制备;电阻率:0.01-105·cm,均匀性好(纵向、横向、微区)、可靠性高(稳定、真实);寿命(少数载流子):晶体管—长寿命; 开关器件—短寿命;晶格完整性:低位错(<1000个/cm2);纯度...