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单晶炉机械结构.ppt
资料介绍
设 备 简 介
直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。
将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温熔化（大于1450℃），在低真空度和氩气保护下，通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷态并进行有规律结晶生长，形成一根单晶棒体。
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