推荐星级:
- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
单晶炉机械结构.ppt
资料介绍
设 备 简 介
直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。
将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温熔化(大于1450℃),在低真空度和氩气保护下,通过籽晶插入多晶硅熔体后,在籽晶周围形成过冷态并进行有规律结晶生长,形成一根单晶棒体。
部分文件列表
文件名 | 大小 |
单晶炉机械结构.ppt | 10M |
全部评论(0)