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300mm硅单晶及抛光片标准.pdf
资料介绍
300mm硅抛光片的产品、工艺技术在国外已经很成熟。而在我国起步较晚，还处于试验阶段。因此对于集成电路所需的300mm硅片的基本参数指标、金属污染和缺陷控制、表面形态与质量、成本等都面临着新的挑战。硅材料的生产工艺、技术、检测方法已成为今后研究的主要内容，同时也是推动产业发展的关键所在。
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| 300mm硅单晶及抛光片标准.pdf | 3M |
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