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直拉单晶炉设备简介 结构.pptx
资料介绍
直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。
炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。
炉体为一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场。
籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉内，两轴具有转动和升降的机械传动系统。
下轴顶端装有石英坩埚，埚内可装入多晶硅料以供拉晶用
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