推荐星级:
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

一种集成SAR-ADC的电容式MEMS陀螺仪高精度模拟接口电路

更新时间:2020-08-30 05:31:10 大小:315K 上传用户:守着阳光1985查看TA发布的资源 标签:电路电容mems 下载积分:5分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

提出一种为MEMS振动陀螺仪设计的驱动和检测接口电路。第一步采用通用级和TIA得到低噪声C/V转换,同时集成采样率1.25MS/s的14位SAR.ADCs,将驱动和感应模式的信号转换到数字域。采用这种策略,模拟电路的复杂性被降低,数字域的信号可以更精确操作。此接口适用于共振频率为3~15kHz的MEMS陀螺仪。此电路在0.18μm CMOS工艺流片。实验结果显示,在3.5kHz频率下,输出电容的噪声密度为0.03aF/√Hz。

The authors present a drive and sense interface for MEMS vibratory gyroscopes. A gm-stage and a TIA are employed as the first stage to achieve low-noise C/V conversion. The signals of both drive mode and sense mode are converted to digital domain by integrated 1.25 MS/s 14-bit SAR-ADCs. With this strategy, the complexity of the analog circuit is reduced, and the signal in digital domain can be manipulated more accurately. The interface is applicable for the MEMS gyroscopes whose resonant frequency is from 3 kHz to 15 kHz. The circuit is designed in a 0.18 μm CMOS process. Experimental results show that the capacitive noise density of the output is achieved to 0.03 aF/√/Hz at 3.5 kHz.

部分文件列表

文件名 大小
一种集成SAR-ADC的电容式MEMS陀螺仪高精度模拟接口电路.pdf 315K

【关注公众号领20积分】

全部评论(0)

暂无评论

上传资源 上传优质资源有赏金

  • 打赏
  • 30日榜单
  • 21下载积分 打赏20.00元   3天前

    用户:white工

  • Lzhf918@ 打赏10.00元   3天前

    资料:海尔LS55H310G液晶电源板电路图

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户:mulanhk

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户:lanmukk

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户:zhengdai

  • 21ic下载 打赏240.00元   3天前

    用户:江岚

  • 21ic下载 打赏240.00元   3天前

    用户:潇潇江南

  • 21ic下载 打赏210.00元   3天前

    用户:gsy幸运

  • 21ic下载 打赏70.00元   3天前

    用户:小猫做电路

  • 21ic下载 打赏120.00元   3天前

    用户:jh0355

  • 21ic下载 打赏110.00元   3天前

    用户:jh03551

  • 21ic下载 打赏70.00元   3天前

    用户:liqiang9090

  • 21ic下载 打赏45.00元   3天前

    用户:有理想666

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户:w178191520

  • 21ic下载 打赏40.00元   3天前

    用户:烟雨

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户:eaglexiong

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户:sun2152

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户:xuzhen1

  • 21ic下载 打赏15.00元   3天前

    用户:kk1957135547

  • 21ic下载 打赏15.00元   3天前

    用户:w993263495

  • 21ic下载 打赏15.00元   3天前

    用户:x15580286248

推荐下载