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半导体分立器件IV性能分析方案
资料介绍
随着器件几何尺寸的减小，半导体器件特性测试对测试系统的要求越来越高。通常这些器件的接触电极尺寸只有微米量级，这些对低噪声源表，探针台和显微镜性能都提出了更高的要求。
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| 源表应用之半导体分立器件IV特性测试方案.docx | 85K |
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