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半导体工艺技术.ppt
资料介绍
概述
微电子从40年代末的第一只晶体管(Ge合金管)问世,50年代中期出现了硅平面工艺,此工艺不仅成为硅晶体管的基本制造工艺,也使得将多个分立晶体管制造在同在一硅片上的集成电路成为可能,随着制造工艺水平的不断成熟,使微电子从单只晶体管发展到今天的ULSI。
回顾发展历史,微电子技术的发展不外乎包括两个方面:制造工艺和电路设计,而这两个又是相互相成,互相促进,共同发展。
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半导体工艺技术.ppt | 6M |
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