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半导体工艺化学.ppt
资料介绍
半导体制造工艺中的化学原理
半导体化学分析技术
1. 原子光谱分析
(1) 原子吸收光谱
(2) 原子发射光谱
2. 等离子体质谱
3. 色谱
4. 红外光谱
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| 半导体工艺化学.ppt | 19M |
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