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半导体材料四探针测试仪中的自动控制技术与图象识别技术的应用
资料介绍
四探针技术是测量半导体电阻率的专用测量手段，已经有几十年的历史。它不仅包括丰富的理论，而且已经在半导体生产工艺中获得了广泛应用。当今，集成电路制造技术飞速发展，对半导体晶片微区各种性能的要求日益提高。四探针技术也同时面临着新的挑战。鉴于这种形势，我们自行开发了一台独具特色的四探针测试仪，它不仅使用了PC 机和单片机自动控制技术来完成测量过程，还结合了图象识别技术进行探针的精确定位。在这篇论文中，本人重点阐述了自己的工作，并对我们的测试仪做了全面介绍。 首先，在绪论中概括介绍了四探针技术背景、测试仪总体概况和本论文的主要研究内容。然后，对四探针测量理论进行了简要论述，包括各种四探针法测量公式的归纳和一些相关理论的总结，并且着重强调了应用到方形四探针的改进的Rymaszewski 测量法。接着，分别从下位单片机的电路设计、上位PC 机的操作软件设计和图象识别探针定位技术等几个方面，系统全面地介绍了我们这台测试仪的技术内涵。其中在下位单片机电路中，重点介绍了恒流源的设计过程，它是下位机电路的关键组成部分，也是我们经过大量电路调试和样品测量实验得出的开发成果。在本文最后，对测试仪的使用方法及注意事项、数据处理和主要性能进行了总结。
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