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芯片裸Die集成封装技术研究
资料介绍
芯片裸Die集成封装(Bare Die Integrated Packaging)是将未封装的半导体芯片裸片(Die)直接集成到封装基板或系统级封装中的先进技术。该技术通过去除传统封装的外壳结构,实现芯片间的高密度互联,显著提升系统集成度和性能指标。与传统封装相比,裸Die集成技术可使封装体积减少30%-50%,信号传输路径缩短40%以上,功耗降低15%-25%。
二、核心技术架构
(一)裸Die处理工艺
· 晶圆减薄技术:采用化学机械研磨(CMP)将晶圆厚度减至50-100μm,提高散热性能
· 激光切割技术:实现微米级精度的Die分离,边缘粗糙度控制在2μm以内
· 表面活化处理:通过等离子清洗去除污染物,提升键合界面结合强度
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