积分商城

最新搜索： 深入浅出ARM7 NUC97 24C16源码 自动切换量程 趣味编程100例 freertos
您现在的位置是：首页 > 技术资料 > 微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路
推荐星级：
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路

更新时间：2020-06-01 10:26:56 大小：334K 上传用户：xiaohei1810查看TA发布的资源 标签：传感器cmos电路大器专用集成电路angular 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题，提出一种基于电压频率调制闭环静电力驱动方法．该方法将驱动电压调制到高频，有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离，同时不改变驱动静电力的相位与频率．采用自动增益控制电路使得闭环驱动幅值非稳定性为0．01％，片上集成跨阻放大器可实现1aF／sqrt（Hz）电容变化测量．闭环驱动电路采用18V高压N阱CMOS工艺设计，芯片面积18．9mm^2．在±9V电源条件下，角速率传感器输出刻度因子10mV·（（°）·s^-1）^-1，线性度0．3％，偏置稳定。1-190（（°）／h）．测试结果表明，该方法在机械表头常压封装下（品质因子为80），无需后续电路相位调整，即能有效的实现传感器的闭环自激驱动．

To solve the coupling problem from driving electrode to sensing electrode of micro-mechanical angular rate sensor, a closed-loop driving approach of electrostatic force based on voltage frequency modulation is proposed, which separates the mechanical resonance frequency from voltage drive frequency without changing the phase and frequency of electrostatic force. Automatic gain control circuits are adopted to get 0.01% amplitude instability of closed-loop drive, and integrated transimpedance amplifier on chip has capacitive resolution of 1 aF/sqrt（Hz）. The chip is fabricated in the 2 μm two-metal and two-poly n-well CM...

部分文件列表

文件名 大小
微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路.pdf 334K

【关注视频号领20积分】   【关注公众号立即送20积分】

相关下载

全部评论(0)

暂无评论
评论赚积分>>

上传资源 上传优质资源有赏金

热门标签

更多>>

最新上传

  • 打赏
  • 30日榜单

热门下载

推荐下载

本站上的所有资源均为源于网上收集或者由用户自行上传，仅供学习和研究使用，无任何商业目的，版权归原作如有侵权，请 来信指出，本站将立即改正。

ICP许可证号：京ICP证070360号     21IC电子网 2000- 版权所有

京ICP备11013301号

京公网安备 11010802024343号