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一种220GHz滤波器的设计

更新时间：2020-08-27 05:56:37 大小：497K 上传用户：守着阳光1985查看TA发布的资源 标签：滤波器 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

基于电感膜片矩形波导滤波器设计方法和加工流程，设计了一个220GHz带通滤波器。滤波器采用玻璃片一硅片一陶瓷片结构，由硅片形成电感膜片结构，玻璃片、陶瓷片键合在硅片上形成闭合的谐振腔，采用集成电路的制作工艺，在加工前分析了工艺特性，优化了滤波器尺寸，避免工艺对滤波器关键尺寸的影响。采用信号源、功率计进行测试，测试结果表明，滤波器在220GHz具有通带特性，带内损耗约为7dB。

A filter with conventional air-filled rectangular waveguide inductive-iris structure is introduced for terahertz application. The filter adopts a tri-layer structure（glass-silicon-ceramic）. The silicon wafer shapes the structure of inductive-iris, and the sheet glass and the sheet ceramic are bonded to the silicon wafer to form the sealed resonator. The filter is fabricated by VLSI（Very Large Scaie Integration） technology including trench etching, surface metallization, anodic bonding, Au-Si eutectic bonding and dicing process. The fabrication processes are analyzed to optimize the dimensions of the filter A filter is assembled and measured by using a signal source with up-converter and a spectrum analyzer with down-converter. And the measurement res...

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