积分商城

最新搜索： SI4732 通信导航 渐明渐暗 pads9.5 烟雾传感器 fanuc ladder pmc
您现在的位置是：首页 > 技术资料 > 差分电容硅微加速度计检测电路研究
推荐星级：
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

差分电容硅微加速度计检测电路研究

更新时间：2020-07-07 01:33:21 大小：918K 上传用户：zhiyao6查看TA发布的资源 标签：差分电容加速度计 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

针对硅微加速度计中微小差分电容检测,提出了一种基于调制解调方法的闭环检测电路,介绍了该闭环检测系统的原理框图和实现途径。分析了基于单路载波的前置电容-电压（ C-V）转换电路,证明了基于相关芯片的解调方法的有效性,其解调效率仅对开环输出有影响；基于双路反馈电路的静电力平衡回路有效提高该检测系统的线性度。结合硅微加速度计参数和电路设计参数,对加速度计系统进行了仿真,仿真结果显示系统稳定,刻度系数为0.9 V/gn 左右,带宽700 Hz左右。结合表头进行的精密转台实验结果表明该加速度计系统刻度系数0.88 V/gn,量程可达±13 gn。

A close-loop detective circuit based on modulation and demodulation is introduced,for detection on micro differential capacitance of silicon micro accelerometer. The principal configuration and the approach are presented. A prepositioned capacitance-to-voltage circuit based on single carrier wave is analyzed,and the validity of the de-modulation approach which is based on correlative chip is proved. The electrostatic rebalance circuit based on feed-back circuits advances the linearity of the system. The Simulink model of the closed-loop system is established with the parameters of the silicon micro accelerometer and the circuits,the results show that the systems stable,...

部分文件列表

文件名 大小
差分电容硅微加速度计检测电路研究.pdf 918K

【关注B站账户领20积分】

相关下载

全部评论(0)

暂无评论
评论赚积分>>

上传资源 上传优质资源有赏金

热门标签

更多>>

最新上传

  • 打赏
  • 30日榜单

热门下载

推荐下载

本站上的所有资源均为源于网上收集或者由用户自行上传，仅供学习和研究使用，无任何商业目的，版权归原作如有侵权，请 来信指出，本站将立即改正。

ICP许可证号：京ICP证070360号     21IC电子网 2000- 版权所有

京ICP备11013301号

京公网安备 11010802024343号