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新型差动电容式角位移传感器的研究
资料介绍
基于电容式角位移传感器的智能金属管浮子流量计需要工作在较宽的温度范围内,工作环境对传感器的要求较高.论文本着发挥电容角位移传感器的优点同时减小传感器的非线性和温度的影响的设计思想,利用有限元法对电容角位移传感器的敏感元件电场边缘效应进行仿真,研究了产生边缘效应的主要因素,提出了减小边缘效应的几种措施,并根据仿真结论,设计了两种差动结构的电容角位移传感器.通过大量深入的温度实验和线性实验,证明设计所采取的减小边缘效应和减小温漂的措施有效地改善了传感器的非线性和温漂问题,差动电容角位移传感器的线性度误差小于5‰,温漂小于0.5‰/℃.由于差动电容角位移传感器存在电路网络参数的不对称问题,该论文又设计了智能化差动角位移传感器,利用单片机简化电路,消除了电路的不对称,传感器的稳定性得到提高,传感器的精度也有所提高,线性度小于3‰,温漂小于0.4‰/℃.
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