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高压铂扩散快恢复二极管的研究

更新时间:2010-12-19 00:15:06 大小:226K 上传用户:xinchen查看TA发布的资源 标签:高压快恢复二极管 下载积分:1分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

本文对高压快恢复二极管的结构设计和制造工艺进行了深入分析,确定了合理的结构参数和先进的工艺流程。选用合适的电阻率和厚度的N 型直拉硅单晶片,采用磷硼纸源扩散,精确控制基区宽度形成P+NN+结构;采用铂

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