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光学MEMS麦克风-自混合干涉技术实现超高灵敏度声学检测.docx
资料介绍
光学MEMS麦克风：自混合干涉技术实现超高灵敏度声学检测
引言
光学MEMS麦克风利用光学干涉原理读取振膜位移信息，具有高灵敏度、抗电磁干扰和宽频带等独特优势。2026年，上海交通大学邵磊课题组研发了一种基于自混合干涉（Self-Mixing Interference, SMI）的光学MEMS麦克风，将激光二极管、光电探测器以及声敏振膜集成在一个紧凑的TO封装结构中。该器件在1 kHz处实现-15.10 dB的灵敏度、87.55 dB的信噪比和6.45 dB SPL的最小可探测声压，在灵敏度和弱声检测方面显著优于传统电容式MEMS麦克风。
自混合干涉原理
基本原理
自混合干涉是一种紧凑的光学干涉测量技术。当激光二极管发出的光被外部反射面反射后，部分光反馈回激光腔，与腔内激光发生干涉，调制激光器的输出功率。通过检测激光器底部光电二极管的电流变化，即可获得与反射面位移成比例的电信号。
在声学传感中的应用
当外界声波作用于振膜时，振膜受激产生微小位移，改变激光器与振膜的间距。基于自混合干涉原理，间距变化可线性调制激光输出功率。通过读出光电二极管的电流信号，即可获得与外部声压成比例的电信号，实现声学信号读取。
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| 1373-光学MEMS麦克风-自混合干涉技术实现超高灵敏度声学检测.docx | 38K |
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