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国产MEMS压力传感器在氢能产业中的替代进展与耐压精度挑战(1).docx
资料介绍
国产MEMS压力传感器在氢能产业中的替代进展与耐压精度挑战
1 引言
MEMS压力传感器在氢能产业中应用广泛——加氢站需要监测70MPa高压储氢罐压力，燃料电池需要监测氢气供应压力（0.5—1MPa），电解槽需要监测电解液压力。高压氢气环境对传感器的耐压性能、密封性和抗氢脆能力提出了极高要求。全球氢能压力传感器市场被TE Connectivity、Keller、Sensata等国际品牌主导。本文分析国产MEMS压力传感器在氢能产业中的替代进展。
2 国际主流产品与国产对标
Keller 25系列：压阻式压力传感器，量程0—100MPa，精度±0.05%FS，工作温度-40—125℃，不锈钢膜片，适合高压氢气环境。
Sensata PTE系列：陶瓷电容式压力传感器，量程0—70MPa，精度±0.5%FS，工作温度-40—125℃，陶瓷膜片抗氢脆能力强。
国产对标——纳芯微NSPAS1系列：MEMS压阻式压力传感器，量程0—70MPa，精度±0.25%FS，工作温度-40—125℃，不锈钢膜片，已完成氢脆测试。在加氢站储氢罐压力监测中已有小批量应用。
国产对标——敏芯微MSP700系列：MEMS压阻式压力传感器，量程0—100MPa，精度±0.5%FS，工作温度-40—125℃，采用钛合金膜片，抗氢脆性能优于不锈钢。在燃料电池氢气压力监测中已有应用。
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