- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
MEMS固态激光雷达技术详解.docx
资料介绍
MEMS固态激光雷达技术详解
一、引言
MEMS微振镜激光雷达是目前车载半固态激光雷达中应用最广、量产规模最大的技术路线。它将传统机械式激光雷达中电机驱动的大型旋转平台替换为一个微米级的硅基反射镜——这个反射镜在静电或电磁驱动下以数千赫兹的频率高速振动，将单束激光在水平和垂直方向上偏转，实现二维扫描。MEMS微振镜将激光雷达的运动部件从厘米级缩小至毫米级，在可靠性和小型化方面跨越了一大步，同时保留了良好的探测性能。速腾聚创的M系列激光雷达是MEMS路线的代表性量产产品。
二、MEMS微振镜的工作原理
MEMS微振镜的镜面尺寸通常为1至5毫米，通过硅基微加工工艺在单晶硅片上一次成型。振镜通过两条扭转梁悬挂在硅框架上，驱动方式有静电式和电磁式两种。静电驱动通过梳齿电容产生的静电引力驱动振镜偏转，结构简单、功耗低，但驱动力小、镜面尺寸受限。电磁驱动在振镜背面的线圈中施加电流，与外部永磁铁产生的磁场相互作用产生驱动力——驱动力大、镜面可以做得更大、光学口径更大、远距离探测性能更好。
振镜在快轴和慢轴两个方向同时振动。快轴以谐振模式工作（频率数千赫兹），实现水平方向的快速扫描；慢轴以非谐振模式工作（频率数十至数百赫兹），实现垂直方向的慢速扫描。两个轴的扫描轨迹合成一个李萨茹图形，激光束在视场中沿特定的扫描路径逐点覆盖。一束激光通过MEMS振镜的二维扫描覆盖的视场角通常为水平120°×垂直25°。
三、关键性能指标
镜面尺寸决定光学口径。 MEMS振镜的镜面尺寸直接决定了激光束的发射孔径——孔径越大、光束发散角越小、远距离探测的角分辨率越高。但同时镜面质量大谐振频率低，扫描速度受限。量产MEMS激光雷达的镜面直径通常在1至4毫米之间，对应的远距探测能力在150至200米范围。
部分文件列表
| 文件名 | 大小 |
| 84_MEMS固态激光雷达技术详解.docx | 39K |
最新上传
- 打赏
- 30日榜单
-
21ic小能手 打赏10.00元 10小时前
-
21ic小能手 打赏8.00元 10小时前
-
21ic小能手 打赏8.00元 10小时前
-
21ic小能手 打赏5.00元 10小时前
-
21ic小能手 打赏3.00元 10小时前
-
tangyu1 打赏1.00元 3天前
-
jjjjkkkkk 打赏1.00元 3天前
-
emlimei 打赏1.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
资料：低频功率放大器的设计.
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
资料：51单片机数字频率计
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
13573902396 打赏1.00元 3天前
-
21下载积分 打赏310.00元 3天前
用户：江岚
-
21下载积分 打赏310.00元 3天前
用户：潇潇江南
-
21下载积分 打赏60.00元 3天前
用户：他山之石可攻玉
-
21下载积分 打赏310.00元 3天前
用户：小猫做电路
-
21下载积分 打赏210.00元 3天前
用户：zhengdai
-
21下载积分 打赏210.00元 3天前
用户：w993263495
-
21下载积分 打赏10.00元 3天前
用户：烟雨
-
21下载积分 打赏60.00元 3天前
用户：gsy幸运
-
21下载积分 打赏70.00元 3天前
用户：铁蛋锅
-
21下载积分 打赏65.00元 3天前
用户：xzxbybd
-
21下载积分 打赏60.00元 3天前
用户：jh0355
-
21下载积分 打赏60.00元 3天前
用户：w178191520
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：jh03551
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：sun2152
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：kk1957135547
-
21下载积分 打赏25.00元 3天前
用户：w1966891335
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：xuzhen1
-
21下载积分 打赏15.00元 3天前
用户：x15580286248
-
21下载积分 打赏25.00元 3天前
用户：pcb
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：bhacker
-
21下载积分 打赏15.00元 3天前
用户：liqiang9090
全部评论(0)