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TCO(透明导电层)的原理及其应用发展资料
资料介绍
什么是透明导电薄膜?
>在可见光波长范围内具有可接受之透光度
以flat panel display而言→透光度愈高愈好
以solar cell而言〉太阳光全波长范围之透光度及热稳定性
>具有导电特性
电阻比(resistivity)愈小愈好,通常p<104Qocm
>一般而言,导电性提高,透光度便下降,反之亦然。可见光范围具有80?上的透光率,其比电阻低于1×10-4Ωocm,即是良好透明导电膜。
TCO薄膜的导电原理
>电阻比(又称体阻抗,p)反比于导电率(conductivity,o)
>p=1/o ohm-cm
>平面显示器中探讨的薄膜的导电性有别于半导体的导电性。
>通常,面电阻(surface resistance,y)or(sheet resistance,Rs)
被定义为薄膜表面之电阻
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