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利用测温电路线性补偿MEMS加速度计零偏温漂

更新时间：2020-08-17 01:21:49 大小：298K 上传用户：zhiyao6查看TA发布的资源 标签：MEMS加速度计 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

为提高MEMS加速度计温度稳定性，针对MEMS加速度计零偏温度漂移问题，提出了一种基于闭环点位置控制的零偏温漂抑制方法，该方法利用测温电路生成线性控制电压，在不同温度下将闭环点位置控制于零反馈位置附近，此时闭环加速度计的零偏近似为0，在全温范围内的零偏漂移量可显著降低。对闭环MEMS加速度计进行温度循环试验，试验结果表明，加入线性控制电压后闭环加速度计的零偏温漂下降到0.1mg／℃以内，与不加线性控制电压相比提高了一个数量级以上。该方法实现简单，可操作性强，无需额外硬件开销，利于工程化实现。

Aiming at the thermal bias drift of MEMS accelerometer,a method to depress the drift based on closed-loop position control was proposed.A linear control voltage generated by temperature measurement circuit encloses the closed-loop position to the zero-feedback position,led to the bias output of the accelerometer close to zero,and the thermal bias drift can be reduced temperature cycling test results indicate that the thermal bias drift is depressed to 0.1 mg/℃ under the linear control voltage,and an order of magnitude of enhancement is advantages of simplicity,operability,economical efficiency make it suitable to engineering approach.

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