基于MEMS技术的SnO2氢传感器的制作与电路设计

更新时间：2020-03-28 09:54:25 大小：18M 上传用户：songhuahua 查看TA发布的资源 标签：mems 传感器 下载积分：3分评价赚积分（如何评价?）收藏评论(0) 举报

资料介绍

氢气传感器早已广泛应用于家庭生活、医疗卫生、能源及环境检测等众多领域。而SnO2作为一种应用最为广泛的气敏材料，一直是作为研究氢气传感器的热点，SnO2材料是一种宽禁带半导体材料，它的化学、物理稳定性比较好，并且耐腐蚀性强，对于很多还原性气体的灵敏特性非常好，具有可逆性、响应及恢复时间短、可靠性高和对于低浓度气体的灵敏度高等优点。但是纯SnO2材料对于多种还原性气体敏感，所以选择性较差。本课题是在学习、研究国内外众多SnO2氢气传感器研究成果的基础上完成的。首先创新的采用MEMS技术制作硅杯，并以PN结作为传感器的结构，调制掺杂的纳米SnO2薄膜作为敏感材料，叉指铂电极作为加热源，其中纳米SnO2薄膜采用溶胶凝胶方法制备，以上均可减少纳米SnO2薄膜电阻，增加传感器的灵敏度，并对薄膜进行了表征分析，通过测试系统对传感器的掺杂种类、退火温度、工作温度进行了分析，给出了灵敏度、响应和恢复时间，最后设计传感器外围电路，以恒流源作为电源，采用AD623为传感器信号进行差分放大，ADC0804作为数／模转换器，经单片机处理后，在LCD12864液晶屏上显示。