- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
磁悬浮分子泵用Hartley涡流传感器
资料介绍
工业领域的磁悬浮分子泵用位移传感器除了要具有良好的静态特性外,还应具有高动态响应特性,同时其体积大小还影响着磁悬浮分子泵的抽速、真空度和压缩比。针对高真空磁悬浮分子泵,提出了一种基于Hartley原理的电涡流位移传感器设计方法,将传感器对称探头接入同一振荡电路作为工作电感。对传感器的动态特性进行了分析,并提出了对其动态响应特性在不影响灵敏度和线性度等静态性能的情况下进行补偿的方法。实验结果表明,在-0.4~0.4mm内,传感器的线性度为±1.17%,灵敏度为9.901mV/μm,分辨率为0.25%,动态响应带宽达到了10.2kHz,两径向四路位移信号测量集成电路板体积仅为π×4~2 cm~2,大大减小了传感器体积,满足了磁悬浮分子泵面向更高抽速和更高真空度的发展需求。
部分文件列表
文件名 | 大小 |
磁悬浮分子泵用Hartley涡流传感器.pdf | 3M |
最新上传
-
21ic小能手 打赏5.00元 43分钟前
-
21ic小能手 打赏10.00元 49分钟前
-
cai0603 打赏3.00元 54分钟前
用户:dongshao
-
21ic小能手 打赏5.00元 19小时前
-
21ic小能手 打赏10.00元 19小时前
-
21ic下载 打赏310.00元 21小时前
用户:gsy幸运
-
21ic下载 打赏310.00元 21小时前
用户:zhengdai
-
21ic下载 打赏310.00元 21小时前
用户:小猫做电路
-
21ic下载 打赏310.00元 21小时前
用户:liqiang9090
-
21ic下载 打赏270.00元 21小时前
用户:kk1957135547
-
21ic下载 打赏160.00元 21小时前
用户:w178191520
-
21ic下载 打赏160.00元 21小时前
用户:w1966891335
-
21ic下载 打赏50.00元 21小时前
用户:w993263495
-
21ic下载 打赏40.00元 21小时前
用户:w993263495
-
21ic下载 打赏90.00元 21小时前
用户:cooldog123pp
-
21ic下载 打赏30.00元 21小时前
用户:sun2152
-
21ic下载 打赏40.00元 21小时前
用户:xzxbybd
-
21ic下载 打赏40.00元 21小时前
用户:铁蛋锅
-
21ic下载 打赏30.00元 21小时前
用户:happypcb
-
21ic下载 打赏50.00元 21小时前
用户:forgot
-
21ic下载 打赏10.00元 21小时前
用户:xuzhen1
-
21ic下载 打赏20.00元 21小时前
用户:wanglu6666
-
21ic下载 打赏5.00元 21小时前
用户:人间留客
-
21ic下载 打赏5.00元 21小时前
用户:jyxjiyixing
-
21ic下载 打赏5.00元 21小时前
用户:akae_du
-
21ic下载 打赏5.00元 21小时前
用户:ouyang_56
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
xlhtracy 打赏10.00元 3天前
-
xlhtracy 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
xlhtracy 打赏5.00元 3天前
-
czmhcy 打赏1.00元 3天前
资料:bitboy
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏20.00元 3天前
资料:STM32控制小米电机
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户:小猫做电路
全部评论(0)