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GB50646-2020 特种气体系统工程技术标准
资料介绍
GB50646-2020 特种气体系统工程技术标准
1.0.1为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先达、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准，
1.0.2本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。1
1.0.3本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收
1.0.4特种气体系统程的设计、施工及验收除鹰符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定1
2.0.1特种气体
specialty gas电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、刷毒性、毒性，此，真化性惰性等特殊气体。
2.0.2自燃性气体
pyrophoric gas也称作发火气体，是指在空气中等于或低于 54’C时可能自燃的易燃气体，
2.0.3易燃性气体 flammable gas一种在20°C和标准压力101.3kPa状态时空气混合有一定易燃范围的气体。>
2.0.4剧毒性气休highly toxic gagld半致死浓度（窒气中吸人4h）小于或等于100mL/m’的气体。
2.0.5毒性气体toxic gas半致死浓度（空气中吸入4h）大于100mL/m’但不超过2500mL/m’的气体。
2.0.6腐蚀性气体
corrosive gas对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体。
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