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量子阱红外探测器
资料介绍
一、QWIP材料体系的核心要求
量子阱红外探测器(QWIP)是基于量子限制效应实现红外光吸收与探测的半导体光电器件,其性能核心完全依托于量子阱材料体系的设计与制备。相较于普通红外探测器,QWIP对材料体系有三项特殊要求:
1. 带边匹配与量子限制要求:势阱材料需要具有低于势垒材料的导带(或价带)边,形成足够深度的量子阱,对载流子实现二维量子限制;阱宽需要精确控制在1nm~10nm量级,保证量子化能级位置匹配目标探测波段。
2. 晶格匹配要求:势阱与势垒材料需要保持相近的晶格常数,降低异质结界面的失配缺陷,减少缺陷态导致的暗电流与非辐射复合,保障器件的光电转换效率。
3. 掺杂要求:通常需要在量子阱势阱中进行n型或p型掺杂,提供可激发的基态载流子,实现红外光子的共振吸收;掺杂浓度需要精确控制,过高会导致暗电流增大,过低会降低光吸收效率。
二、主流QWIP材料体系分类
目前已经实现规模化应用与深入研究的QWIP材料体系,按照衬底与材料组分的不同,可以分为三大类:
(一)GaAs/AlGaAs体系
GaAs/AlxGa1-xAs是目前技术最成熟、应用最广泛的QWIP材料体系,也是第一款实现商业化量产的QWIP材料。
基本结构与性质
该体系以GaAs作为势阱材料,AlxGa1-xAs作为势垒材料:GaAs的禁带宽度为1.424eV,导带阶约占总禁带差的65%,当Al组分x<0.45时,AlGaAs保持直接带隙特性,晶格常数与GaAs失配度小于0.2%,几乎完全晶格匹配,可以生长出质量极高的多周期量子阱结构。
通过改变Al组分x,可以调整势垒高度,同时调整量子阱阱宽可以精确控制量子化能级的间隔,从而实现从3μm~20μm红外波段的响应调节,覆盖了常用的大气红外窗口(3~5μm和8~14μm)。
优势与局限性
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