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硅通孔技术的发展与挑战

更新时间：2021-07-26 21:05:32 大小：249K 上传用户：sjtumgy查看TA发布的资源 标签：硅通孔 下载积分：2分 评价赚积分 （如何评价?） 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

该论文详细讲述了目前MEMS行业关键技术之一——硅通孔技术的发展现状，以及面临的挑战。

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硅通孔技术的发展与挑战_刘培生.pdf 249K

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