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集成电路中的物理问题讲座资料，硅中微缺陷及其形成过程
资料介绍
介绍了集成电路中涉及的物理规律和机制,着重综述了这些规律在微电子学领域所遇到的极限挑战及解决这些问题的最新技术,并预测了21世纪集成电路技术的重点研究方向.
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| 集成电路中的物理问题讲座_第01讲_硅中微缺陷及其形成过程.pdf | 600K |
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