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SOI 高温器件及其在汽车电子等领域中的应用
资料介绍
石油钻井、航空航天、汽车等工业领域急需能在高温下工作的器件和电路. SOI(silicon - on -Insulator) 技术在高温器件和电路方面有着广泛的应用前景. 文章简要介绍了 SOI 技术应用于制造高温器件和电路方面的进展情况.
1998 年 8 月 3 日 ,美国 IBM 公司在纽约East Fishkill 宣布在世界上首次利用 SOI 技术成功地研制出了高速、低功耗、高可靠的微电子主流产品 ———微处理器等高性能芯片. IBM 公司的这一举动震惊了国际微电子界 ,也使 SOI技术成为众人瞩目的焦点. SOI 因其独特的结构 ,具有体硅不可比拟的优势 ,可广泛应用于低压、低功耗器件与电路 ,高温器件与电路 ,高速电路 ,抗辐照电路的生产制造. 本文将主要介绍SOI 技术在高温器件、电路方面的应用情况以及进一步改善 SOI 高温器件、电路性能所面临的问题.
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