SJ_T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法

更新时间：2023-12-10 19:48:56 大小：3M 上传用户：sun2152 查看TA发布的资源 标签：电真空器件 下载积分：6分评价赚积分（如何评价?）打赏收藏评论(0) 举报

资料介绍

SJ_T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法本标准按照 GB/T 1.1—2009 制定的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准代替SJ/T 1543-1988《电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法》，本标准与SJ/T 1543- 1988 相比，主要有如下变动： ——按GB/T 1.1-2009规定的格式进行了修改。 ——增加了去离子水的纯度等级。（见5.4，88版的3d）本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SACPFC203）提出并归口. 规范性引用文件TANDARL下列文件对本文件的应用是必不可凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 GB/T 8647.10-2006 镍化学分析方法砷镉铅锌锑铋锡钴铜锰镁硅铝铁量的测定发射光谱法 3方法提要采用灵敏度高，激发稳定，不受试样形状限制的“粉末球形电弧法”进行分析。根据待测元素的不同激发性，在直流电弧阳极激发下测定易激发元素砷、锡、铅、锑、铋、镉、锌；在直流电弧阴极激发下测定难激发元素硅、镁、铁、铜、锰、钴、铝。 6.1 样品处理称取 3 g 试样，精确至 0.001 g，置于烧杯中，用硝酸（1+5）洗涤，倾去洗液后，用水冲洗 2 次，加入 20 mL~30 mL硝酸（3+2），加热溶解（保持微沸），蒸发至干，将蒸发器移入马弗炉中，在780℃~800℃灼烧20 min，取出，冷却至室温，将生成的氧化物在玛瑙研钵中研细.分别称取试样和标样的氧化物粉末三份，每份重300mg，用压力机在压模（压模内径为ф5mm，如图1所示）内压至成块，放在红外灯下烘烤20 min. 6.2 阳极激发摄谱将压块置于下电极上，采用三透镜照明系统摄谱，中心波长 280 nm，直流电弧阳极激发，狭缝宽度12 um，遮光板高5mm，光栏高1 mm，极距3mm，电流强度 5 A~7 A，感光板为紫外11型。当压块上产生阳极斑后立即曝光 15 s~20 s，摄谱过程中控制极距不变。标样和试样均平行摄谱 3次。 6.3 阴极激发摄谱将阳极激发后生成的样品熔珠置于下电极上，采用三透镜照明系统摄谱，中心波长280 nm，直流电弧阴极激发，狭缝宽度10um，遮光板高3.2mm，采用二阶梯或三阶梯感光器，极距3mm，电流强度 5 A~8A，感光板为紫外1型。当熔珠上产生阴极斑后立即曝光 15s~20 s，摄谱过程中控制极距不变。标样和试样均平行摄谱 3次。 6.4 感光板的处理摄影后的感光板在温度为 19℃±1℃ 显影液中显影 4 min 后定影、水洗、干燥。 6.5 黑度测量在测微光度计上测量各个元素的分析线对的黑度S或换值黑度 P.各分析线对的波长列于表 2. 7 结果计算根据测定结果，计算出标样和试样的黑度差平均值4S或AP。用标样的4S或AP与相应元素的含量对数 logC绘制工作曲线。根据样的AS 或AP 从工作曲线上查出待测元的含量对数，再求出待测元素的含量。精密度 STANDARD精密度以单次测定的相对标准偏差 Sr 值表示，见表 3.