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secs协议简要介绍
资料介绍
“secs”通常是指“SECS/GEM（SEMI Equipment Communications Standard/Generic Equipment Model）”，是由SEMI（全球半导体制造业协会）制定的一种通信标准。它是半导体制造设备之间进行通信的标准，用于控制和监视设备及其过程数据。
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| secs协议简要介绍.doc | 29K |
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