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microscale glass-blown three-dimensional spherical
资料介绍
2011 microscale glass-blown three-dimensional spherical shell resonators,采用MEMS方法制作微泡谐振器,该谐振器可用于微陀螺,加速度计,时间参考等应用中。
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文件名 | 大小 |
microscale_glass-blown_three-dimensional_spherical_shell_resonators.pdf | 2M |
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