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MEMS激光雷达技术解析

更新时间：2026-07-15 09:06:59 大小：16K 上传用户：江岚查看TA发布的资源 标签：mems激光雷达 下载积分：2分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

一、MEMS激光雷达基本概念

MEMS激光雷达是将微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）技术与激光雷达探测原理结合的固态激光雷达方案，通过微型MEMS振镜替代传统机械旋转结构实现激光光束的扫描，是当前自动驾驶、机器人感知领域应用最广泛的固态激光雷达技术路线之一。

传统机械激光雷达依靠电机驱动整组激光发射接收装置旋转实现360°环境扫描，整体体积大、成本高，旋转部件的可靠性也难以满足长期使用需求。MEMS激光雷达将机械扫描结构微型化，仅通过毫米级甚至微米级的可动振镜改变出射激光方向，省去了大体积旋转部件，在体积、功耗、成本层面相比传统机械方案有显著优势，同时相比纯固态的Flash、OPA方案，MEMS激光雷达在探测距离、点云密度、精度等核心性能上更容易达到车规级要求，因此成为现阶段量产固态激光雷达的主流选择。

二、MEMS激光雷达核心工作原理

2.1 整体探测流程

MEMS激光雷达的核心探测逻辑和传统激光雷达一致，基于飞行时间（ToF）原理实现测距：首先由激光发射单元出射激光脉冲，激光经过MEMS振镜反射后射向目标空间，碰到障碍物后激光发生漫反射，部分反射光被接收单元的光电探测器捕获，通过计算激光发射到接收的时间差，结合光速即可计算出雷达到目标障碍物的距离，配合MEMS振镜的偏转角度就可以得到目标点的三维坐标，大量坐标点组合形成目标场景的三维点云图，完成环境感知。

2.2 MEMS振镜核心作用

MEMS振镜是MEMS激光雷达最核心的功能部件，本质是一块集成了驱动结构、位置检测的微型可偏转反射镜。常见的MEMS振镜支持二维偏转，可以分别在水平方向和垂直方向做周期性或可控的偏转，每一个偏转角度对应一个出射激光方向，因此仅用单个激光发射单元就可以实现一定视场内的二维扫描。相比传统机械激光雷达需要数十个激光收发通道，MEMS方案通常只需要数个甚至1个激光收发通道，大幅降低了系统的组装难度和成本。


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