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InGaAs探测二极管阵列
资料介绍
基本概念
铟镓砷（InGaAs）是一种三元化合物半导体材料，通过调整In和Ga的组分比例，可以使其禁带宽度对应0.7~1.7μm左右的近红外波段，完美覆盖光纤通信的1310nm、1550nm两个低损耗窗口，同时也适配近红外光谱检测、夜视成像等多个领域的波长需求。
InGaAs探测二极管阵列是基于InGaAs材料制备的、将多个独立光电探测二极管单元按一定规则（线阵或面阵）集成在同一衬底上的光电探测器件，核心功能是将入射的近红外光信号转换为可采集处理的电信号，相比单探测元件，能够实现大视场范围、多通道同步的光信号探测与成像，是当前近红外探测领域的核心器件之一。
核心特性
1.光谱响应范围
常见的室温工作InGaAs探测二极管阵列，响应范围通常在900~1700nm，通过特殊材料设计或制冷处理，部分扩展型器件可以将响应范围延伸到2500nm，覆盖大部分近红外应用场景。相比硅基探测器，硅基只对波长1100nm以内的光敏感，在近红外波段响应几乎为零，InGaAs在近红外的探测优势极为明显；相比碲镉汞（MCT）探测器，InGaAs探测二极管阵列在室温下的暗电流更低、探测灵敏度更高，同时成本和制备难度更低，稳定性更好。
2.探测灵敏度与噪声性能
InGaAs材料的电子迁移率高，载流子寿命合适，制备的二极管阵列暗电流可以低至nA级（室温），制冷条件下可以达到pA级，对应噪声等效功率（NEP）可以达到10⁻¹⁵W/√Hz量级，能够探测极弱的近红外光信号，满足高灵敏度探测需求。
3.响应速度
InGaAs探测二极管的响应速度通常在纳秒量级，阵列器件的读出带宽可以达到数百MHz，能够适配高速光信号检测、高速成像等应用场景，满足光纤通信高速信号探测、动态光谱采集的需求。
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| 文件名 | 大小 |
| InGaAs探测二极管阵列.docx | 15K |
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