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高速双纵模双频激光干涉仪系统的研究
资料介绍
本学位论文以实用高速双频激光干涉仪测量系统为研究目标,完成了以下研究工作:(1)提出在现有的具有一定优势的双纵模双频激光干涉仪的基础上,对其电路系统进行改进,研制具有较高测量速度(不小于1000mm/s)、有良好抗干扰性能、测量智能化及自动化程度均较高的高速激光干涉仪系统的研究目标.(2)详细介绍了双纵模双频激光干涉仪的结构组成,从理论上分析了双频激光干涉仪的测量原理及光外差原理,并对该干涉仪光路结构上的三个特点作出介绍.(3)针对原有电路系统的信号易有直流漂移、调整光路观察信号不方便的不足之处提出解决方案.并给出了振荡器频率选择的基本公式及对混频后信号进行自动增益控制(AGC)放大稳幅和整形处理的具体电路.(4)根据研究目标的要求,给出了计数系统的设计公式.以此公式为基础设计出了基于8254的计数系统及基于74HC161的计数系统.(5)设计出了以89C51单片机为核心的CPU测量控制及数据处理系统.(6)在完成电路系统的设计、加工及调试后,进行了实验验证,实验结果证明该干涉仪能够满足测量速度不小于1000mm/s的要求;并具有足够的抗干扰能力.
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