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基于Halcon的IC测试探针表面质量的机器视觉检测系统

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Vol.35, No.1

Feb. 201ꢀ

第

卷第期

江西理工大学学报

年

月

Journal of Jiangxi University of Science and Technology

2014

文章编号：2095-3041（2014）00-0060-05

DOI：10.13265/j.cnki.jxlgdxxb.2014.01.010

基于 H alcon 的 IC 测试探针表面质量的

机器视觉检测系统

a b a

徐鹏，黄志红，刘飞飞，罗贤平

（江西理工大学，电气工程与自动化学院；期刊社；机电工程学院，江西赣州

a. b. c.

）

34ꢀꢃ00

摘

要：测试是集成电路生产中的重要工序，探针表面诸如划痕、凹坑等缺陷对性能测试结果

影响大文章研究了

探针表面质量的机器视觉检测方法，讨论了灰度变换、均值滤波、区域连

通、图像分割等缺陷图像处理和形状识别方法，建立了相应的探针表面质量检测系统，并基于机

器视觉软件开发了探针表面质量检测系统软件实验表明：开发的检测系统可对直径

Halcon

的

测试探针表面质量进行快速检测评估，且系统的稳定性好、检测精度高，能有

0.3~0.6 mm

效缩短检测时间和减少检测成本

关键词：测试探针；表面质量检测；机器视觉；

软件

Halcon

中图分类号：

文献标志码：

TP391

Surface quality machine vision inspection system of IC probe by

the Halcon software

，，，

XU Peng HUANG Zhi-hong LIU Fei-fei LUO Xian-ping

（

Jiangxi University of Science and Technology, a. School of Electrical Engineering and Automation; bꢄ Periodical Press;

）

c. School of Mechanical & Electrical Engineering, Gannzhou 341ꢃꢃꢃ, China

Abstract: IC detection is an important step in the IC manufacture. The defects of IC probe surface, such as the

abrasion and dent, deeply effect on the performance detection result. In this paper, the probe surface quality

inspection method by the machine vision is studied, the defect image process and shape recognization method

are discussed with the gray transform, mean filtering, region link and image segmentation. The surface quality

inspection system is developed by means of Halcon software. It is satisfactory that the fast and accurate

detection of the IC detection probe with its diameter of ꢃ.3 ~ ꢃ.6 mm and the detection cycle and low cost.

Key wordsꢀ IC detecting probe; surface quality inspection; machine vision; Halcon software

[ꢀ]

片只有通过了探针的测试才允许进行下一道工序

ꢄ

探针表面常常存在划痕和凹坑等缺陷，这些缺陷尺

引

言

寸小且随机分布等探针表面缺陷一般将影响其

ꢄ

与测试点的接触电阻、触电压力等参数，从而影响

集成电路封装之前，需要将探针卡压到芯片的

电极板上进行功能测试，探针是测试卡上用来与芯

[2]

测试过程的准确度因此，在探针制造过程中，严

ꢄ

格控制其表面质量显得非常重要传统的探针质

ꢄ

片进行电气连接的一种微小尺寸部件（如图），芯

ꢀ

收稿日期：2014-0ꢀ-ꢀ3

基金项目江西省教育厅科技项目（

）

GJJꢁ8271

），男，硕士研究生，主要从事机器视觉和嵌入式系统等方面的研究，

Eꢂmail:.

徐

鹏（

199ꢁꢂ

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