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大角度低驱动电压结构设计
资料介绍
一、设计背景与需求分析
在微纳机电系统(MEMS)、光学扫描、自适应光学、激光雷达等领域,反射镜、棱镜等运动部件的大角度偏转是核心性能需求,同时器件的低功耗、小型化要求使得驱动电压控制成为设计的关键指标。传统的静电驱动、电磁驱动结构普遍存在大角度偏转需要高驱动电压的矛盾:静电驱动依靠静电力产生力矩,偏转角度与驱动电压的平方近似成正比,想要实现十度以上的大角度偏转往往需要上百伏甚至更高的驱动电压,既增加了驱动电路的成本与体积,也带来了高压安全隐患;电磁驱动虽然力矩较大,但大角度工作时需要持续大电流,功耗水平难以降低;压电驱动则存在应变系数有限的问题,大位移需要多层结构,驱动电压依然居高不下。
因此,大角度低驱动电压结构的核心设计目标,是在保证结构可靠性、响应速度的前提下,通过结构拓扑优化、驱动机制创新、力学杠杆放大等设计思路,实现偏转角度不小于常规器件、驱动电压降低50%以上的性能提升,满足便携式激光雷达、穿戴式显示、手机光学防抖等高集成度应用场景的需求。
二、核心设计原理
2.1 力矩放大与力传递原理
大角度低驱动电压设计的核心思路是放大驱动端的位移/力矩传递效率,对于静电驱动等输入力矩有限的驱动方式,通过柔性铰链结构的杠杆放大作用,可以用较小的输入力得到更大的输出偏转角度。根据杠杆原理,力矩平衡满足公式:Fin×Lin= Fout×Lout,当输入力臂Lin大于输出力臂Lout时,输出力矩大于输入力矩,在相同输入电压下即可得到更大的偏转角。
对于柔性铰链结构,其扭转刚度与结构厚度的三次方成正比,合理设计铰链的位置与厚度,可以在保证结构刚度的同时降低扭转所需的力矩,使得相同静电力下可以产生更大的扭转角,进而实现低电压驱动大角度。
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| 文件名 | 大小 |
| 大角度低驱动电压结构设计.docx | 19K |
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