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电子级水概述
资料介绍
一、定义与应用领域
电子级水（Electronic Grade Water，简称EGW）是指经过深度净化处理，水中溶解的离子、有机物、颗粒物、微生物等杂质含量达到电子工业生产要求的高纯度水。其主要应用于半导体芯片制造、液晶显示面板（LCD/OLED）、太阳能电池、集成电路封装测试、电子元器件清洗等高科技领域，作为清洗、蚀刻、光刻、离子注入等关键工艺的工艺用水或超纯溶剂。
二、纯度等级划分
电子级水的纯度等级通常根据水中污染物的含量进行划分，国际上常用的标准包括美国材料与试验协会（ASTM）标准、国际半导体设备与材料协会（SEMI）标准等。以下为SEMI标准中电子级水的主要等级及关键指标（以SEMI C12-0706为例）：
三、制备工艺流程
电子级水的制备通常以市政自来水或去离子水为原水，通过多阶段净化工艺实现，典型流程包括：
1. 预处理阶段
· 混凝沉淀/过滤：去除水中悬浮颗粒物、胶体杂质。
· 活性炭吸附：吸附有机物、余氯等。
· 保安过滤（精密过滤）：进一步去除微小颗粒，保护后续设备。
2. 深度脱盐阶段
· 反渗透（RO）：利用半透膜去除99%以上的溶解盐、有机物、胶体等。
· 离子交换（IX）：分为阳离子交换和阴离子交换，深度去除残留离子，可采用混床或抛光混床形式。
· 电去离子（EDI）：将离子交换与电渗析结合，无需化学再生，持续去除离子，是RO之后的重要深度脱盐技术。
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