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射频源控制信号模拟器的设计与应用

更新时间:2016-08-30 11:18:59 大小:349K 上传用户:秋风式街球查看TA发布的资源 标签:射频源信号模拟器 下载积分:0分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(1) 举报

资料介绍

熟悉微电子工艺设备的人都知道,射频源(RFGENERATER)是半导体工艺不可缺少的设备,其主要应用于等离子体干法刻蚀设备。其原理是刻蚀气体(主要是F基和C1基的气体)通过气体流量控制系统通进反应腔室,在高频电场(频率通常为13.56MHz)作用下产生辉光放电,负气体分子或原子发生电离,形成等离子体(Plasma)。

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射频源控制信号模拟器的设计与应用.docx 349K

全部评论(1)

  • 2023-08-29 08:27:07ayslwx

    很专业的资料,谢谢分享

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