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基于线阵CCD的高精度测量系统设计及测隙测径方法研究
资料介绍
本文应用线阵CCD-TCDl206对小尺寸间隙和直径高精度测量进行了研究。通过对线阵CCD测量装置的系统分析确定了光学子系统的构成和线阵CCD信号输出处理子系统的方案。 分别应用基于单片机的硬件计数法和基于数据采集的软件法对待测间隙和直径进行标定和测量。在硬件计数法中对线阵CCD所输出信号采用二值化处理方法确定测量边缘，而在基于数据采集的软件法中分别应用了多项式最小二乘法和RBF神经网络对所采集数据进行拟合处理来确定测量边界。几组间隙和直径进行标定和测量的实验结果表明两种测量方案均切实可行，相对于传统的测量方法具有精度高、可以非接触测量等优点。
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