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柔性磁传感器技术原理与应用.docx
资料介绍
柔性磁传感器技术原理与应用
1 引言
柔性磁传感器是一种在柔性基底上制备的磁传感器，具有可弯曲、可拉伸、重量轻、可贴合不规则表面等独特优势，在可穿戴设备、电子皮肤、智能织物和生物医疗领域具有广阔应用前景。柔性磁传感器通常采用GMR或TMR磁敏感薄膜，在聚酰亚胺（PI）、PET或PDMS等柔性基底上沉积，实现柔性化。
2 技术原理
柔性磁传感器在柔性基底上沉积磁性多层膜（如GMR自旋阀或TMR磁隧道结），通过光刻工艺制备传感器图案。柔性基底使传感器可弯曲至曲率半径数毫米而不损坏。在柔性基底上可制备传感器阵列，实现磁场分布成像。
3 技术特点
3.1 主要优势
· 柔性可弯曲，适配不规则表面
· 重量轻，厚度薄（<0.1mm）
· 可制备大面积阵列
· 适合可穿戴设备
· 抗冲击，不易碎裂
3.2 主要局限
· 灵敏度低于刚性传感器
· 弯折后性能变化
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