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MEMS光学扫描与成像传感技术综述
资料介绍
一、技术概述
微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）是融合了微加工技术与集成电路技术的前沿交叉领域，能够在毫米甚至微米尺度实现机械结构与电学系统的集成。MEMS光学扫描与成像传感是MEMS技术在光学领域的典型应用方向，通过微加工工艺制备可动微光学元件，驱动其实现高精度的二维或三维光束扫描，结合光电探测与信号处理系统完成场景成像与目标传感检测。
相较于传统的光学扫描方案，如棱镜旋转扫描、振镜扫描、声光偏转扫描等，MEMS光学扫描器件具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可批量制造、响应速度快等核心优势，完美契合了当下消费电子、工业检测、医疗健康等领域对成像设备小型化、低成本化的发展需求，已经成为固态激光雷达、手持投影、内窥镜成像、生物传感等应用场景的核心技术方案。
二、MEMS扫描器件的工作原理与分类
2.1 按扫描维度分类
根据可实现的扫描维度划分，MEMS扫描器件可分为一维扫描镜与二维扫描镜两类。一维MEMS扫描镜仅存在一个转动自由度，仅能实现单一方向的光束偏转，通常通过两个一维扫描镜正交组合实现二维扫描，或者配合一维的面阵探测器实现二维成像。一维扫描镜结构简单，工艺难度低，可靠性高，扫描角度容易做大，多用于线扫描场景或者对精度要求较高的工业检测领域。二维MEMS扫描镜仅通过单个器件即可实现两个方向的光束偏转，结构更加紧凑，体积更小，是当前消费类应用的主流方案，但结构设计与驱动控制的复杂度更高，容易出现两个方向扫描的耦合干扰。
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| 1784075712MEMS光学扫描与成像传感技术综述.docx | 19K |
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