- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
MEMS光调制传感技术概述
资料介绍
一、MEMS光调制传感技术的基本概念
MEMS即微机电系统，是将微机械结构、微传感器、微执行器以及信号处理电路集成在微小硅基基底上的前沿技术，尺寸通常在微米到毫米量级。MEMS光调制传感技术是MEMS技术与光调制、光学传感技术交叉融合形成的新型传感技术，依托MEMS微结构对光的振幅、相位、偏振态、波长等参数进行动态调制，将被测物理量、化学量的变化转化为光学参数的可测变化，最终实现信号的传感与检测。
和传统的电学传感技术相比，MEMS光调制传感技术具备抗电磁干扰能力强、体积小重量轻、响应速度快、灵敏度高、可实现分布式传感等突出优势，在通信、生物医疗、环境监测、工业检测、国防航空等多个领域展现出广阔的应用前景。
二、MEMS光调制的核心原理与分类
2.1 核心调制原理
光调制的本质是通过外界信号改变光的某一或多个光学参数，MEMS光调制依靠可动微结构的机械运动改变光学通路中光的传播特性，不同的微结构设计会实现不同形式的调制。当被测信号作用于MEMS传感单元时，会引发MEMS微结构发生位移、形变或者振动，这种机械变化会改变光的传播状态，通过检测光学参数的变化就可以反推得到被测信号的大小，完成传感过程。
2.2 常见调制类型
根据调制的光学参数不同，MEMS光调制可以分为以下几类：
· 强度调制：通过MEMS微结构的运动改变输出光的强度，最为常见的结构包括可变光阑、可动反射镜、遮光微梁等。当被测物理量引发微结构位移时，会改变透光窗口的大小或者反射光的方向，进而改变输出光强，该调制方式结构简单、信号检测方便，是目前应用最广泛的调制方式。
· 相位调制：通过改变光的传播光程实现相位调制，通常结合干涉光路完成检测。常见的结构包括MEMS可动反射镜构成的法布里-珀罗干涉腔、微纳光纤耦合MEMS结构等，被测信号引发腔长变化，改变干涉条纹的位置，通过解调干涉信号就可以得到被测参数，该方式灵敏度极高，可实现纳米甚至皮米量级的位移检测。
部分文件列表
| 文件名 | 大小 |
| 1784075712MEMS光调制传感技术概述.docx | 19K |
最新上传
- 打赏
- 30日榜单
-
tangyu1 打赏1.00元 3天前
-
jjjjkkkkk 打赏1.00元 3天前
-
emlimei 打赏1.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
资料：低频功率放大器的设计.
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
资料：51单片机数字频率计
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
13573902396 打赏1.00元 3天前
-
21下载积分 打赏310.00元 3天前
用户：江岚
-
21下载积分 打赏310.00元 3天前
用户：潇潇江南
-
21下载积分 打赏60.00元 3天前
用户：他山之石可攻玉
-
21下载积分 打赏310.00元 3天前
用户：小猫做电路
-
21下载积分 打赏210.00元 3天前
用户：zhengdai
-
21下载积分 打赏210.00元 3天前
用户：w993263495
-
21下载积分 打赏10.00元 3天前
用户：烟雨
-
21下载积分 打赏60.00元 3天前
用户：gsy幸运
-
21下载积分 打赏70.00元 3天前
用户：铁蛋锅
-
21下载积分 打赏65.00元 3天前
用户：xzxbybd
-
21下载积分 打赏60.00元 3天前
用户：jh0355
-
21下载积分 打赏60.00元 3天前
用户：w178191520
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：jh03551
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：sun2152
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：kk1957135547
-
21下载积分 打赏25.00元 3天前
用户：w1966891335
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：xuzhen1
-
21下载积分 打赏15.00元 3天前
用户：x15580286248
-
21下载积分 打赏25.00元 3天前
用户：pcb
-
21下载积分 打赏20.00元 3天前
用户：bhacker
-
21下载积分 打赏15.00元 3天前
用户：liqiang9090
-
21下载积分 打赏25.00元 3天前
用户：有理想666
-
21下载积分 打赏15.00元 3天前
用户：godbox
-
21下载积分 打赏15.00元 3天前
用户：aetek
-
21下载积分 打赏5.00元 3天前
用户：mulanhk
-
21下载积分 打赏5.00元 3天前
用户：JuneLin61
全部评论(0)