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声表面波传感器-高频声学传感与无线无源检测.docx
资料介绍
声表面波传感器：高频声学传感与无线无源检测
一、引言
声表面波传感器利用压电基底上传播的声表面波对表面微扰的敏感性，实现温度、压力、湿度和气体浓度的高灵敏度检测。SAW传感器具有体积小、灵敏度高、可无线无源检测和抗电磁干扰的独特优势，在汽车电子、工业监测和物联网中具有重要应用价值。2026年，SAW传感器在胎压监测、温度传感和气体检测中实现了大规模商业化应用，卓胜微等企业在SAW器件领域取得多项专利突破。
二、SAW传感原理
SAW传感器利用压电基底上的叉指换能器激发和接收声表面波。当声表面波在压电基底表面传播时，外界参量（温度、压力、质量加载等）的变化引起声波传播速度或频率的改变，通过检测频率变化实现传感。
瑞利波是最常用的SAW模式，能量集中在表面附近，对表面微扰极为敏感。Love波利用波导层将能量进一步约束在表面，在液体环境中具有更好的传感性能。SH-SAW在液体中传播损耗小，适用于液相检测。
三、SAW传感器结构
SAW传感器通常由压电基底、输入叉指换能器、输出叉指换能器和敏感膜组成。延迟线型测量输入和输出IDT之间的声波传播时间或相位变化。谐振器型利用SAW谐振器的谐振频率对外界参量的敏感性，Q值高，分辨率好。
无线无源SAW传感器利用天线接收射频信号，通过IDT转换为SAW，携带传感信息后通过天线发射回读，无需电池和导线，在旋转部件和密闭空间检测中具有独特优势。
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| 1234-声表面波传感器-高频声学传感与无线无源检测.docx | 38K |
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