推荐星级:
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

TMAH腐蚀液制作硅微结构的研究

更新时间:2019-05-16 10:37:19 大小:2M 上传用户:cyb000查看TA发布的资源 标签:tmah硅微结构MEMS 下载积分:2分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

通过各向异性腐蚀硅微结构工艺,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)晶面腐蚀速率与TMAH 溶液浓度、温度、pH值以及过硫酸铵添加剂的关系,并采用原子力显微镜研究了不同腐蚀条件下硅的表面形貌,研究表明:TMAH溶液的浓度的降低和腐蚀温度的提高,腐蚀速率提高,硅腔的表面粗糙度增大;过硫酸铵添加剂明显改善了硅微腔的表面平整度。本研究所确定的最佳腐蚀工艺条件为:溶液中TMAH浓度为25%,过硫酸铵添加剂浓度为3%,腐蚀温度80℃。在此工艺条件下腐蚀出了深度为230μm、表面粗糙度小于50nm的硅微腔。

部分文件列表

文件名 大小
TMAH腐蚀液制作硅微结构的研究.pdf 2M

【关注B站账户领20积分】

全部评论(0)

暂无评论

上传资源 上传优质资源有赏金

  • 打赏
  • 30日榜单
  • 21ic小能手 打赏15.00元   2天前

    资料:基于stm32F1的声源定位

  • sd-hyc 打赏1.00元   3天前

    资料:神州易刻2024最新版

  • 柏涵 打赏1.00元   3天前

    资料:XDS100_v1_1_RTM

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户:jh0355

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户:w178191520

  • 21ic下载 打赏210.00元   3天前

    用户:gsy幸运

  • 21ic下载 打赏210.00元   3天前

    用户:zhengdai

  • 21ic下载 打赏210.00元   3天前

    用户:jh03551

  • 21ic下载 打赏110.00元   3天前

    用户:liqiang9090

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户:sun2152

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户:xuzhen1

  • 21ic下载 打赏80.00元   3天前

    用户:xzxbybd

  • 21ic下载 打赏25.00元   3天前

    用户:WK520077778

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户:w1966891335

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户:铁蛋锅

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户:玉落彼岸

  • 21ic下载 打赏15.00元   3天前

    用户:kk1957135547

  • 21ic下载 打赏10.00元   3天前

    用户:zpf22332

  • 21ic下载 打赏5.00元   3天前

    用户:pangpidan

  • 21ic下载 打赏5.00元   3天前

    用户:hpxny

  • 21ic下载 打赏5.00元   3天前

    用户:pandq2009

推荐下载