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  • TMAH腐蚀液制作硅微结构的研究

    大小：2M 更新时间：2019-05-16 下载积分：2分

    通过各向异性腐蚀硅微结构工艺,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)晶面腐蚀速率与TMAH 溶液浓度、温度、pH值以及过硫酸铵添加剂的关系,并采用原子力显微镜研究了不同腐蚀条件下硅的表面形貌,研究表...

    标签：tmah硅微结构MEMS
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