SJ_T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

SJ_T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准代替并废止SJ/T 31083—1994《DM-450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法》. 本标准与SJ/T 31083-1994相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：标准名称“DM-450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法”修改为“真空镀膜设备完好要求和检查评定方法”： 第1章中“本标准规定了DM+40型真空较成图方好要求和检查评定方法”修改为“本标准规定了真空镇模设备的完好要求和检查评定方法 第1章中“标准用干-450A型、DM-300B型、GDMR00BD-306型真空镀膜机”修改为 “本标准适用于R0C700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空裤膜设备可参照执行”： 增加了“性用文件” 在3.中改 设备极展真空度及抽时间指标，增加了保压性院、单点河率、镀膜均匀性及批次重发性指标，删除了工件旋转速度、离子轰击功家及能量指标： 在.2平增加了“触摸屏”的完好要求，删除了关于制动、限位装置的好要求： 在3.中增加了关于动密錢点的完好要求，删除了关于钟罩的完好要求册除了3.中关于真空腔、冷却水路的表述一增加了冷凝系、分子泵 管路、真空阀及真空计的定好要求；在3.补充了各指示灯，按钮、开关、工控机的完好要求；在.6中增加了冷却系统的来风要求： 删除了时件的完好要求，在3.中华地了真空室单独接地的要求，以及真空室门、高压部件外面板 紧急停止按钮、危险源点标好要求；删除了3.8中关于高压电源线和高压引线连接的表述；修改了4.19设备概限其空度及抽气时间的检查方法，删除了一应转和烘烤温度的检查方法，增加了保压特性、单点质率、彼膜均匀性及重复性的检方法。 本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。 本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 SJ/T 31001—2016 设备完好要求和检查评定方法编写导则SJ/T 31002-2016企业设备维护保养通则3 完好要求 3.1 BOC700-4/G 型真空镀膜设备的主要技术指标有： 主要技术指标 a）极限真空度<1x10Pa；b）抽气时间：由大气压抽到<1×10° Pa 的时间应<20 min： c）保压性能：保压测试 10 min，真空度<1×107Pa：d）单点漏率<1×10*Pam'/s：e）烘烤温度：室温至 200 ℃可调： f）镀膜均匀性：工件内及工件间镀膜厚度的均匀性<4%；g）镀膜批次重复性<4%. 具体设备可符合有关标准和合同（包括设备说明书）的要求。 3.2 操作系统 3.2.1 设备各操作手柄、开关、按钮动作灵活，定位可靠，标识清楚。 3.2.2 各仪表、指示灯、指示正常，触摸屏触摸灵敏，显示正确。 3.3 传动系统 3.3.1 常温或加热情况下，各传动件均应运行平稳，动作可靠，无异常噪声、抖动、停滞等现象。 3.3.2 动密封点密封性好，传动时不得有真空度跳变现象。 3.4 真空系统 3.4.1 机械泵、压缩机及冷凝泵（或扩散泵、分子泵）等工作正常，无异常嗓声，冷凝泵二级冷头温度小于 12 K. 3.4.2 粗抽阀、高真空阀、再生阀、冷凝泵充气阀、真空室充气阀（包括手动阀、气动阀或电磁阀等）。 动作可靠、无漏气。 3.4.3 真空管路连接牢固，密封性好。 3.4.4 各真空计显示正常，示数灵敏、准确。 3.5 电气系统 3.5.1 电气系统装置齐全，功能完整：电气性能灵敏可靠；互锁完备、正确3.5.2 电气箱内部清洁，各线路布线整齐，标识齐全、清楚；各端子联按牢固、无松动；线路绝缘层无破损、老化、漏电现象。 6.1 冷却系统装置齐管道ND INEORMATION TH 3.5.3 各指示灯、按钮、开关齐全，工控机工作可靠。 3.6 冷却系统 3.6.2 冷却水清洁，S漏水现象。 3.6.3 设备冷却水人力在0.2 MPa-0.4 MPa 范围内，关位有流量传感器。 3.6.4 水冷系统的水、肤锁保护装置灵敏、可靠。 3.7 安全防系 3.7.1设备接地可能，标说明显：真空宝必须单独接地。 3.7.2真空利、高压部件外面板的位置传器器工作正常、灵敏，并与真它氧能及高压部件互锁。 4检查、评定方法 TANDARDS AD0И 3.7.3忽上按钮工作止标识清楚。 3.7.4遣备各危险源点标调齐全，醒目。 3.B维护保 3.8.1设备用力洁无锈性，观察窗場亮清晰，化破损、腐蚀。 3.8.2 各部件媚钉无松动。 3.8.3定期青理定期检查维护易损部件，定期更换、补充聚油 3.8.4 其他损SJ002-2016 的规定执行。 4.1 检查方法 4.1.1 打开真空室至少 3 min 后，天 设价操作要求对真空室抽真空，12h后，记录真空 4.1.2 真空室门打开至少 3 min 后，关真空室门，按设备操作要求对真空室抽真空，记录从机械泵粗抽开始，到开高真空阀后第一次到达所要求真空度的时间，即为抽气时间。 室压强，结果即为极限真空度。 4.1.3 设备达到极限真空度后，关闭高真空阀，10min后记录真空室压强，该压强数据即为保压测试结果， 4.1.4 单点漏率采用氣检漏仪或残气分析仪检测。