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SEM与TEM技术对比分析
资料介绍
一、基本原理对比
（一）扫描电子显微镜（SEM）
SEM通过发射聚焦电子束扫描样品表面，利用电子与物质相互作用产生的二次电子、背散射电子等信号成像。其工作原理基于：
· 电子枪发射高能电子束（通常5-30kV）
· 电磁透镜系统将电子束聚焦为纳米级探针
· 扫描线圈控制电子束在样品表面逐点扫描
· 探测器收集二次电子（反映表面形貌）和背散射电子（反映成分差异）
· 信号强度转化为图像灰度值，形成三维立体表象
（二）透射电子显微镜（TEM）
TEM采用穿透样品的电子束成像，核心原理包括：
· 高电压电子枪（80-300kV，部分超高压可达1MV）产生平行电子束
· 样品需制成50-100nm的超薄切片（生物样品）或纳米粉末（材料样品）
· 电子束穿透样品时发生散射，质量厚度差异导致电子强度变化
· 物镜、中间镜和投影镜组成成像系统，将电子信号转化为放大图像
· 可同步获取选区电子衍射（SAED）数据，分析晶体结构
三、核心应用领域
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