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基于PSD的显微镜定位技术研究
资料介绍
随着对PSD器件的深入研究以及PSD信号处理器的发展，PSD已经广泛应用于各个领域。目前，在测量领域的应用中，PSD已被应用于微小距离的测量。但由于PSD制作工艺上仍存在一些不足，所以目前制造的PSD器件所存在的缺点是其输出信号的线性度并不是很好，对微小距离的测量精度影响较大，但是可以通过PSD的信号处理器对其输出信号进行一定的非线性补偿，减小非线性误差。因此，通过对其输出信号的处理实现测量精确度的提高的研究，对PSD在微小距离测量上的应用有着重要的意义。 显微镜是观察样本实验中常用的实验仪器，在对样本观察点进行精确定位时，其移动量通常在微小距离范围内，实验结果受到定位精度的影响。本文介绍一种采用PSD及步进电机的显微镜定位装置；介绍了PSD信号处理方法，提出采用模拟电路计算光点坐标，再通过在单片机中采用双一次插值的方法对PSD的输出信号进行非线性处理。所述信号处理器应能够实现观察样本的位置及位移量的实时显示，从而让操作人员可以通过读取位移数据对样本进行精确定位，可以有效地提高工作效率。
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