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基于ProtelDXP一体化方法的数字流量控制器设计

更新时间：2019-09-22 10:45:36 大小：702K 上传用户：杨义查看TA发布的资源 标签：protel dxp数字流量控制器 下载积分：0分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

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第 22 卷第 3 期  
2010 年 9 月  
北 方 工 业 大 学 学 报  
J. NORT H CHINA UNIV. OF T ECH.  
Vol. 22 No. 3  
Sept. 2010  
基于Protel DXP 一体化  
方法的数字流量控制器设计*  
赵
ꢀ
迪1) 张贵辰2) 孙德辉2)  
ꢀ
ꢀ
( 1) 北京七星华创电子股份有限公司, 100016, 北京; 2) 北方工业大学机电工程学院, 100144, 北京)  
摘
ꢀ
要ꢀ 介绍了 D07 系列流量控制器的工作原理以及 Protel DXP 在质量流量控制器产品  
开发中的应用. 提出了用 Protel DXP 进行原理图设计、仿真分析、印刷电路板设计的一体化解  
决方案. 最后通过一个应用实例给出了印制板的设计流程、设计规则及注意事项.  
关键词  
分类号  
ꢀ
ꢀ
Protel DXP; 一体化方法; 流量控制器设计  
TP29  
ꢀ
ꢀ
本文所设计的 D07 系列流量控制器属于  
示. 当无气体通过传感器的传感管时, 惠斯顿电  
桥上下游电阻相等, 输出的电压信号为零; 当有  
气体通过传感管时, 气体将传感管上游的热量  
带到下游, 上下游温度的变化会使传感管上下  
游的热敏电阻丝阻值发生改变, 从而可以使电  
桥输出与流量相关的电压信号.  
一种工业自动化仪表, 可以对各种气体进行精  
确的测量和控制, 大量应用于半导体及集成电  
路生产线上的扩散、氧化、外延、CVD 等离子刻  
蚀等工序设备中. 目前的设计方法主要是采用  
传统的 Protel 设计、制版、焊接和调试, 各个环  
节分步进行, 设计效率低, 可靠性差, 故障检测  
困难. 采用 Protel DXP 一体化方法可以将上述  
各个设计环节一次完成, 极大地提高了设计效  
率和可靠性, 有很好的推广价值.  
1
ꢀ
数字流量控制器的工作原理  
如图 1 所示, 数字流量控制器由流量传感  
器、分流器通道、流量调节阀和放大控制电路板  
等部件组成. 气体通过质量流量控制器时, 大部  
分气体通过分流器, 仅有少量气体流过流量传  
感器. 分流器由很多细管粘接而成, 作用是使气  
体通过时处于层流状态, 保证通过分流器的气  
体与通过传感器的气体成一定比例. 流量传感  
器采用毛细管传热温差量热法原理, 如图 2 所  
图 1  
ꢀ 流量控制器的结构简图  
对于模拟产品此电压信号经仪表放大器放  
大至 0~ 5V DC, 放大后的流量检测电压与设  
定电压进行比较, 再将比较后的差值电压放大  
后去驱动流量调节阀, 通过 PID 闭环控制, 使  
收稿日期: 2009ꢀ10ꢀ10  
*
北京市人才强校计划支持项目资助  
第一作者简介: 赵迪, 工程师, 技术研发部部长. 主要研究方向: 质量流量控制器产品的研发.  

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